红外, 2017, 38 (2): 1, 网络出版: 2017-03-29
硫化锌薄膜的原子层沉积生长及表征
Growth and Characterization ofZnS Thin Films by Atomic Layer Deposition
基本信息
DOI: | 10.3969/j.issn.1672-8785.2017.02.001 |
中图分类号: | O484.1 |
栏目: | 研究论文 |
项目基金: | 国家自然科学基金(6070612);中国科学院国防科技创新基金(cxjj-10-m29) |
收稿日期: | 2016-12-09 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2017-03-29 |
通讯作者: | 孙常鸿 (sunch@mail.sitp.ac.cn) |
备注: | -- |
孙常鸿, 张鹏, 张天宁, 陈鑫, 叶振华. 硫化锌薄膜的原子层沉积生长及表征[J]. 红外, 2017, 38(2): 1. SUN Chang-hong, ZHANG Peng, ZHANG Tian-ning, CHEN Xin, YE Zhen-hua. Growth and Characterization ofZnS Thin Films by Atomic Layer Deposition[J]. INFRARED, 2017, 38(2): 1.