硫化锌薄膜的原子层沉积生长及表征 | 红外 -- 中国光学期刊网

红外, 2017, 38 (2): 1, 网络出版: 2017-03-29

硫化锌薄膜的原子层沉积生长及表征

Growth and Characterization ofZnS Thin Films by Atomic Layer Deposition

孙常鸿 ^1,2,*张鹏 ^1,2,3张天宁 ^1,3,4陈鑫 ^1,4叶振华 ^1,2

作者单位

¹ 中国科学院上海技术物理研究所，上海 200083

² 中国科学院红外成像材料与器件重点实验室，上海 200083

³ 中国科学院大学，北京 100039

⁴ 中国科学院红外物理国家重点实验室，上海200083

补充材料

孙常鸿, 张鹏, 张天宁, 陈鑫, 叶振华. 硫化锌薄膜的原子层沉积生长及表征[J]. 红外, 2017, 38(2): 1. SUN Chang-hong, ZHANG Peng, ZHANG Tian-ning, CHEN Xin, YE Zhen-hua. Growth and Characterization ofZnS Thin Films by Atomic Layer Deposition[J]. INFRARED, 2017, 38(2): 1.

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