发光学报, 2011, 32 (12): 1292, 网络出版: 2012-01-04
半导体激光器腔面增透膜AlN薄膜的制备
Deposition of AlN Film for AR Coating of Semiconductor Lasers
基本信息
| DOI: | 10.3788/fgxb20113212.1292 |
| 中图分类号: | TN248.4 |
| 栏目: | 器件制备及器件物理 |
| 项目基金: | -- |
| 收稿日期: | 2011-08-03 |
| 修改稿日期: | 2011-10-27 |
| 网络出版日期: | 2012-01-04 |
| 通讯作者: | 周路 (zhoulu885@163.com) |
| 备注: | -- |
周路, 王云华, 贾宝山, 白端元, 张斯钰, 乔忠良, 高欣, 薄报学. 半导体激光器腔面增透膜AlN薄膜的制备[J]. 发光学报, 2011, 32(12): 1292. ZHOU Lu, WANG Yun-hua, JIA Bao-shan, BAI Duan-yuan, ZHANG Si-yu, QIAO Zhong-liang, GAO Xin, BO Bao-xue. Deposition of AlN Film for AR Coating of Semiconductor Lasers[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2011, 32(12): 1292.
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