半导体激光器腔面增透膜AlN薄膜的制备 | 发光学报 -- 中国光学期刊网

发光学报, 2011, 32 (12): 1292, 网络出版: 2012-01-04

半导体激光器腔面增透膜AlN薄膜的制备

Deposition of AlN Film for AR Coating of Semiconductor Lasers

周路 ^*王云华贾宝山白端元张斯钰乔忠良高欣薄报学

作者单位

长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林长春130022

增透膜折射率溅射灾变性光学损伤 AR film refractivity sputtering COD

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