光学 精密工程, 2018, 26 (2): 344, 网络出版: 2018-03-21
磁悬浮分子泵用Hartley涡流传感器
Hartley eddy current sensor used in maglev molecular pump
基本信息
| DOI: | 10.3788/ope.20182602.0344 |
| 中图分类号: | TP212.1;TH36 |
| 栏目: | 微纳技术与精密机械 |
| 项目基金: | 国家重大科学仪器设备开发专项（No.2012YQ040235）；光电信息与仪器北京市工程技术研究中心开放基金资助项目（No.GD2017008） |
| 收稿日期: | 2017-08-21 |
| 修改稿日期: | 2017-10-09 |
| 网络出版日期: | 2018-03-21 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
王坤, 张利胜, 陈少华, 韩邦成. 磁悬浮分子泵用Hartley涡流传感器[J]. 光学 精密工程, 2018, 26(2): 344. WANG Kun, ZHANG Li-sheng, CHEN Shao-hua, HAN Bang-cheng. Hartley eddy current sensor used in maglev molecular pump[J]. Optics and Precision Engineering, 2018, 26(2): 344.
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