光学 精密工程, 2018, 26 (2): 344, 网络出版: 2018-03-21
磁悬浮分子泵用Hartley涡流传感器
Hartley eddy current sensor used in maglev molecular pump
磁悬浮分子泵 电涡流位移传感器 体积 动态特性 maglev molecular pump Eddy Current Displacement Senor(ECDS) Hartley Hartley volume dynamic characteristic
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