飞秒激光对硅表面微构造的研究进展

高胜淼; 韩培高; 闫珂柱

doi:doi:10.3788/lop50.110002

激光与光电子学进展, 2013, 50 (11): 110002, 网络出版: 2014-12-05

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Research Progress of Femtosecond Laser Fabricating Silicon-Based Micro/Nano Structure

高胜淼 ^*韩培高闫珂柱

作者单位

曲阜师范大学激光研究所山东省激光偏光与信息技术重点实验室, 山东曲阜 273165

引用该论文

高胜淼, 韩培高, 闫珂柱. 飞秒激光对硅表面微构造的研究进展[J]. 激光与光电子学进展, 2013, 50(11): 110002.

Gao Shengmiao, Han Peigao, Yan Kezhu. Research Progress of Femtosecond Laser Fabricating Silicon-Based Micro/Nano Structure[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2013, 50(11): 110002.

引用列表

1、石英玻璃与硅的飞秒激光微连接及其接头性能研究中国激光, 2015, 42 (9): 906004

2、偏振激光诱导金属表面周期条纹结构机理的研究中国激光, 2015, 42 (7): 702002

3、退火对微构造黑硅光致发光瞬态性质的影响光学学报, 2015, 35 (5): 530001

4、飞秒激光制备掺杂黑硅及其应用进展激光与光电子学进展, 2015, 52 (10): 100005

5、皮秒激光制备大面积荷叶结构及其硅橡胶超疏水性压印研究中国激光, 2014, 41 (9): 903007

高胜淼, 韩培高, 闫珂柱. 飞秒激光对硅表面微构造的研究进展[J]. 激光与光电子学进展, 2013, 50(11): 110002. Gao Shengmiao, Han Peigao, Yan Kezhu. Research Progress of Femtosecond Laser Fabricating Silicon-Based Micro/Nano Structure[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2013, 50(11): 110002.

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