激光与光电子学进展, 2013, 50 (11): 110002, 网络出版: 2014-12-05
飞秒激光对硅表面微构造的研究进展 
下载： 633次
Research Progress of Femtosecond Laser Fabricating Silicon-Based Micro/Nano Structure
基本信息
| DOI: | 10.3788/lop50.110002 |
| 中图分类号: | TN249 |
| 栏目: | 综述 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(11104160) |
| 收稿日期: | 2013-06-25 |
| 修改稿日期: | 2013-07-11 |
| 网络出版日期: | 2014-12-05 |
| 通讯作者: | 高胜淼 (gsmiao1988@163.com) |
| 备注: | -- |
高胜淼, 韩培高, 闫珂柱. 飞秒激光对硅表面微构造的研究进展[J]. 激光与光电子学进展, 2013, 50(11): 110002. Gao Shengmiao, Han Peigao, Yan Kezhu. Research Progress of Femtosecond Laser Fabricating Silicon-Based Micro/Nano Structure[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2013, 50(11): 110002.
PDF全文
