激光与光电子学进展, 2013, 50 (11): 110002, 网络出版: 2014-12-05   

飞秒激光对硅表面微构造的研究进展 下载: 633次

Research Progress of Femtosecond Laser Fabricating Silicon-Based Micro/Nano Structure
作者单位
曲阜师范大学激光研究所 山东省激光偏光与信息技术重点实验室, 山东 曲阜 273165
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