蓝宝石衬底多层AlGaN薄膜透射谱研究 | 光学学报 -- 中国光学期刊网

光学学报, 2020, 40 (19): 1931002, 网络出版: 2020-09-19

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Transmission Spectrum of Multilayer AlGaN Thin Film on Sapphire Substrate

李浩杰 ^1,2张燕 ^1,*

作者单位

¹ 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室, 上海 200083

² 中国科学院大学, 北京 100049

引用该论文

李浩杰, 张燕. 蓝宝石衬底多层AlGaN薄膜透射谱研究[J]. 光学学报, 2020, 40(19): 1931002.

Haojie Li, Yan Zhang. Transmission Spectrum of Multilayer AlGaN Thin Film on Sapphire Substrate[J]. Acta Optica Sinica, 2020, 40(19): 1931002.

引用列表

1、光位移法测定蓝宝石高温折射率及理论研究光学学报, 2023, 43 (9): 0916003

2、基于氧化镓日盲紫外光电探测器的研究进展中国激光, 2021, 48 (11): 1100001

3、基于孪生靶的磁控溅射系统薄膜厚度均匀性的研究光学学报, 2021, 41 (7): 0731001

李浩杰, 张燕. 蓝宝石衬底多层AlGaN薄膜透射谱研究[J]. 光学学报, 2020, 40(19): 1931002. Haojie Li, Yan Zhang. Transmission Spectrum of Multilayer AlGaN Thin Film on Sapphire Substrate[J]. Acta Optica Sinica, 2020, 40(19): 1931002.

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