蓝宝石衬底多层AlGaN薄膜透射谱研究

李浩杰; 张燕

doi:doi:10.3788/AOS202040.1931002

光学学报, 2020, 40 (19): 1931002, 网络出版: 2020-09-19

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Transmission Spectrum of Multilayer AlGaN Thin Film on Sapphire Substrate

李浩杰 ^1,2张燕 ^1,*

作者单位

¹ 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室, 上海 200083

² 中国科学院大学, 北京 100049

基本信息

DOI:	10.3788/AOS202040.1931002
中图分类号:	O484.4+1
栏目:	薄膜
项目基金:	--
收稿日期:	2020-05-21
修改稿日期:	2020-06-17
网络出版日期:	2020-09-19
通讯作者:	张燕 (zhangyan@mail.sitp.ac.cn)
备注:	--

李浩杰, 张燕. 蓝宝石衬底多层AlGaN薄膜透射谱研究[J]. 光学学报, 2020, 40(19): 1931002. Haojie Li, Yan Zhang. Transmission Spectrum of Multilayer AlGaN Thin Film on Sapphire Substrate[J]. Acta Optica Sinica, 2020, 40(19): 1931002.