激光与光电子学进展, 2017, 54 (8): 082201, 网络出版: 2017-08-02
基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析 下载: 1202次
Design and Analysis of Illumination System of Talbot Self-Imaging Lithographic Equipment
基本信息
DOI: | 10.3788/lop54.082201 |
中图分类号: | O439 |
栏目: | 光学设计与制造 |
项目基金: | 国家自然科学基金(61376110) |
收稿日期: | 2017-03-16 |
修改稿日期: | 2017-04-24 |
网络出版日期: | 2017-08-02 |
通讯作者: | 佟军民 (tjmtx@126.com) |
备注: | -- |
佟军民, 刘俊伯, 胡松. 基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析[J]. 激光与光电子学进展, 2017, 54(8): 082201. Tong Junmin, Liu Junbo, Hu Song. Design and Analysis of Illumination System of Talbot Self-Imaging Lithographic Equipment[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2017, 54(8): 082201.