实现高发光效率、高亮度和良好的热稳定性是固态照明的迫切要求。因此，用于高功率发光二极管或激光二极管（LED/LD）的高性能荧光转换材料具有重要的研究意义。在这项工作中，通过将Lu³⁺离子引入YAG∶Ce荧光陶瓷中方法作为有效策略来改善YAG∶Ce荧光材料的发光性能。采用固相反应和真空烧结法制备了不同Lu³⁺含量的（Lu，Y）₃Al₅O₁₂∶Ce荧光陶瓷（LuYAG∶Ce荧光陶瓷）。随着Lu³⁺含量的增加，LuYAG∶Ce荧光陶瓷中的Y³⁺位点被Lu³⁺位点取代，Ce³⁺的发射峰呈现从573 nm到563 nm的蓝移现象。当Lu³⁺含量为60%时，通过将LuYAG∶Ce荧光陶瓷与蓝光LED组合，其发光强度达到最大值，流明效率达到114 lm?W^-1。使用450 nm激光源与LuYAG∶Ce荧光陶瓷构建了透射模式下的激光驱动照明装置。随着功率密度从2.2 W·mm^-2增加到39 W·mm^-2，Lu³⁺含量为60%的荧光陶瓷光通量从128 lm增加到1 874 lm，且没有发光饱和的迹象，最佳发光效率达到128 lm·W^-1。因此，LuYAG∶Ce荧光陶瓷有望成为高功率LED/LD照明的潜在荧光转换材料。

在光刻投影物镜的畸变检测中，位移测量误差是光刻投影物镜畸变检测的重要误差源之一，深度分析误差源并减小误差项，可提高光刻投影物镜的畸变检测精度。本文将运动台的定位与测量技术相结合，着重分析利用夏克-哈特曼波前传感器对投影物镜进行畸变检测时像质检测台的位移测量误差。并以一套投影物镜像质检测台为例，对其在投影物镜畸变检测中的位移测量误差进行分析，利用该像质检测台对某一投影物镜进行畸变检测，畸变检测结果约80 nm，其中该像质检测台的位移测量误差会给畸变检测结果带来约22 nm的不确定度。

现有的空间失配标定方法受原理限制只能实现像素级的标定精度，且易受环境噪声干扰。本文提出了一种亚像素级的同步微离轴数字全息显微系统的空间失配标定方法。该方法在建模时不仅分析了图像分割导致的横向位置误差，还进一步考虑了传感器倾斜引入的纵向位置误差，并将标定过程归纳为求解非线性多变量优化问题。在本文中，粒子群优化算法因其结构简单、收敛效率高、全局搜索能力强等优势，被用于解决这一优化问题。在标定过程中，建立了基于相位畸变的纯相位波面，并将纯相位波前的均方根误差作为目标函数，以去除噪声对标定精度的影响。仿真结果证明本文方法具有亚像素级精度，实验证明了其在实际系统中的有效性。