中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室, 四川 成都 610209
针对现有同轴检焦方法如临界角法、博科刀口法、针孔法以及像散法等容易受光强变化的影响,且对系统装调有较高要求的问题,提出一种基于差动调制度解析的同轴检焦方法。通过物理光栅对成像空间进行编码,并采用傅里叶变换解析经基片高度调制后的编码图像调制度分布,结合差动探测系统实现对基片高度的精确测量。理论与实验表明,采用数值孔径为0.9、放大倍率为100的物镜,检焦精度优于10 nm。本文所提的检焦方法无需复杂光学元件,具有结构简单、测试精度高等优点,将为新型光刻技术提供一种新的高精度同轴检焦手段。
测量 同轴检焦 光刻 傅里叶变换 调制度
1 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室, 四川 成都 610209
2 中国科学院大学, 北京 100049
建立了多光束干涉场的光强分布数学模型,利用Matlab仿真计算了基于方位角、入射角和偏振角联合调制的四光束干涉光场。分析了光束方位角、入射角和偏振态的变化对多光束干涉的影响,阐释了非对称入射时光场中隔离带现象的生成原因。基于四光束干涉并采用s-s-s-s波的偏振态组合,使其中一束光的方位角旋转180°,并改变入射角,得到一种可用于制备高长宽比椭圆阵列的方法。实验结果表明,方位角、入射角和偏振角共同决定了光束的偏振矢量。由于方位角和入射角两个自由度的引入,非对称入射增加了干涉图案的多样性,使多光束干涉不仅局限于周期性圆孔阵、圆点阵的制备,也为制备多周期、跨尺度图案提供了理论参考。
激光干涉 非对称入射 偏振调制 跨尺度结构 激光与光电子学进展
2020, 57(19): 192602
1 西北核技术研究所， 西安 710024
2 西安交通大学， 西安 710049
介绍了自主研制的脉冲电场原始波形测量系统的模块组成与基本工作原理。针对在未知被测电场方向及复杂的电场环境下垂直干扰电场对自由空间电场测量产生的影响，通过建立自由空间电场测量系统前端的简化模型，对不同尺寸天线与屏蔽盒进行仿真计算。仿真计算结果与理论分析基本一致，结果表明：干扰电场响应信号与待测电场响应信号相差2个数量级以上，干扰电场的影响可忽略不计。
极化方向 自由空间 电场测量 电磁脉冲 polarization direction free space electric field measurement electromagnetic pulse 强激光与粒子束
2011, 23(12): 3437
