激光与光电子学进展, 2017, 54 (8): 082201, 网络出版: 2017-08-02
基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析 
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Design and Analysis of Illumination System of Talbot Self-Imaging Lithographic Equipment
光学设计 光刻 照明系统 容差分析 塔尔博特自成像 optical design lithography illumination system tolerance analysis Talbot self-imaging
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