1 许昌职业技术学院, 河南 许昌 461000
2 中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
针对塔尔博特自成像光刻机对照明系统的特定需求, 基于成像照明光学设计理论,引入非成像光学理论思想, 建立照明系统的初始结构。利用光学设计软件Zemax对照明系统光学初始结构进行优化, 并在Lighttools中对该照明系统进行建模和大规模分布式光线追迹。追迹结果表明, 在照明面积60 mm×60 mm范围内, 照明不均匀度约为1.83%, 照明功率密度不小于1.15 mW·mm-2。对照明面在光轴方向上的位移容差进行分析, 结果表明该照明系统可以满足塔尔博特自成像光刻的需求。
光学设计 光刻 照明系统 容差分析 塔尔博特自成像 激光与光电子学进展
2017, 54(8): 082201
