发光学报, 2016, 37 (4): 457, 网络出版: 2016-06-06   

退火温度对非晶铟钨氧薄膜晶体管特性的影响

Effect of Annealing Temperature on Performance of Amorphous InWO Thin Film Transistors
作者单位
上海交通大学 电子工程系, 上海 200240
基本信息
DOI: 10.3788/fgxb20163704.0457
中图分类号: TN321+.5
栏目: 器件制备及器件物理
项目基金: 国家自然科学基金面上项目(61474075)、 国家自然科学基金重点项目(61136004)资助
收稿日期: 2015-12-21
修改稿日期: 2016-01-18
网络出版日期: 2016-06-06
通讯作者:
备注: --

许玲, 吴崎, 董承远. 退火温度对非晶铟钨氧薄膜晶体管特性的影响[J]. 发光学报, 2016, 37(4): 457. XU Ling, WU Qi, DONG Cheng-yuan. Effect of Annealing Temperature on Performance of Amorphous InWO Thin Film Transistors[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2016, 37(4): 457.

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