飞秒激光打孔硅的孔洞形貌研究 | 光子学报 -- 中国光学期刊网

光子学报, 2017, 46 (10): 1014004, 网络出版: 2017-11-24

飞秒激光打孔硅的孔洞形貌研究

Hole Morphology in Femtosecond Laser Drilling of Silicon

李志明 ^*王玺聂劲松

作者单位

电子工程学院脉冲功率激光技术国家重点实验室, 合肥 230037

飞秒激光硅非热效应双温方程等离子体烧蚀轮廓 Femtosecond laser Silicon Non-thermal effect Two-temperature equation Plasma Ablation profile

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