光学学报, 2020, 40 (15): 1522002, 网络出版: 2020-08-14
用于光刻调焦调平的反射式投影光学系统设计 下载: 1356次
Design of Reflective Projection Optics Used in Lithographic Focusing and Leveling System
基本信息
DOI: | 10.3788/AOS202040.1522002 |
中图分类号: | O436 |
栏目: | 光学设计与制造 |
项目基金: | 国家科技重大专项(2017ZX02101006) |
收稿日期: | 2020-03-26 |
修改稿日期: | 2020-04-28 |
网络出版日期: | 2020-08-14 |
通讯作者: | 孙生生 (sunshengsheng@ime.ac.cn), 宗明成 (zongmingcheng@ime.ac.cn) |
备注: | -- |
孙生生, 王丹, 齐月静, 宗明成. 用于光刻调焦调平的反射式投影光学系统设计[J]. 光学学报, 2020, 40(15): 1522002. Shengsheng Sun, Dan Wang, Yuejing Qi, Mingcheng Zong. Design of Reflective Projection Optics Used in Lithographic Focusing and Leveling System[J]. Acta Optica Sinica, 2020, 40(15): 1522002.