用于光刻调焦调平的反射式投影光学系统设计

孙生生; 王丹; 齐月静; 宗明成

doi:doi:10.3788/AOS202040.1522002

光学学报, 2020, 40 (15): 1522002, 网络出版: 2020-08-14

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Design of Reflective Projection Optics Used in Lithographic Focusing and Leveling System

孙生生 ^1,2,**王丹 ¹齐月静 ^1,2宗明成 ^1,2,*

作者单位

¹ 中国科学院微电子研究所, 北京 100029

² 中国科学院大学, 北京 100049

补充材料

孙生生, 王丹, 齐月静, 宗明成. 用于光刻调焦调平的反射式投影光学系统设计[J]. 光学学报, 2020, 40(15): 1522002. Shengsheng Sun, Dan Wang, Yuejing Qi, Mingcheng Zong. Design of Reflective Projection Optics Used in Lithographic Focusing and Leveling System[J]. Acta Optica Sinica, 2020, 40(15): 1522002.