光学学报, 2011, 31 (4): 0412003, 网络出版: 2011-03-30
基于数字全息显微成像的微光学元件三维面形检测
3D Profile Measurement for Micro-Optical Component by Using Digital Holographic Microscopy
基本信息
DOI: | 10.3788/aos201131.0412003 |
中图分类号: | O438.1 |
栏目: | 仪器,测量与计量 |
项目基金: | 国家自然科学基金(61077004)、北京市教育委员会科技发展计划重点项目、北京市自然科学基金重点项目()(KZ200910005001)、服务北京创新人才、团队建设项目和北京工业大学博士科研启动基金项目资助课题。 |
收稿日期: | 2010-07-21 |
修改稿日期: | 2010-12-06 |
网络出版日期: | 2011-03-30 |
通讯作者: | 王云新 (yxwang@bjut.edu.cn) |
备注: | -- |
王云新, 王大勇, 赵洁, 李艳, 万玉红. 基于数字全息显微成像的微光学元件三维面形检测[J]. 光学学报, 2011, 31(4): 0412003. Wang Yunxin, Wang Dayong, Zhao Jie, Li Yan, Wan Yuhong. 3D Profile Measurement for Micro-Optical Component by Using Digital Holographic Microscopy[J]. Acta Optica Sinica, 2011, 31(4): 0412003.