光学学报, 2011, 31 (4): 0412003, 网络出版: 2011-03-30
基于数字全息显微成像的微光学元件三维面形检测
3D Profile Measurement for Micro-Optical Component by Using Digital Holographic Microscopy
基本信息
| DOI: | 10.3788/aos201131.0412003 |
| 中图分类号: | O438.1 |
| 栏目: | 仪器，测量与计量 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金（61077004）、北京市教育委员会科技发展计划重点项目、北京市自然科学基金重点项目（）（KZ200910005001)、服务北京创新人才、团队建设项目和北京工业大学博士科研启动基金项目资助课题。 |
| 收稿日期: | 2010-07-21 |
| 修改稿日期: | 2010-12-06 |
| 网络出版日期: | 2011-03-30 |
| 通讯作者: | 王云新 (yxwang@bjut.edu.cn) |
| 备注: | -- |
王云新, 王大勇, 赵洁, 李艳, 万玉红. 基于数字全息显微成像的微光学元件三维面形检测[J]. 光学学报, 2011, 31(4): 0412003. Wang Yunxin, Wang Dayong, Zhao Jie, Li Yan, Wan Yuhong. 3D Profile Measurement for Micro-Optical Component by Using Digital Holographic Microscopy[J]. Acta Optica Sinica, 2011, 31(4): 0412003.
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