光学学报, 2011, 31 (4): 0412003, 网络出版: 2011-03-30
基于数字全息显微成像的微光学元件三维面形检测
3D Profile Measurement for Micro-Optical Component by Using Digital Holographic Microscopy
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王云新, 王大勇, 赵洁, 李艳, 万玉红. 基于数字全息显微成像的微光学元件三维面形检测[J]. 光学学报, 2011, 31(4): 0412003. Wang Yunxin, Wang Dayong, Zhao Jie, Li Yan, Wan Yuhong. 3D Profile Measurement for Micro-Optical Component by Using Digital Holographic Microscopy[J]. Acta Optica Sinica, 2011, 31(4): 0412003.