强激光与粒子束, 2016, 28 (8): 28084002, 网络出版: 2016-07-26  

用α能损法测量薄膜厚度所需真空度的确定方法

A method to determine the vacuum degree while measuring the thickness of thin films using energy loss of α-particles
作者单位
1 四川大学 物理系, 成都 610064
2 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
3 兰州大学 第二医院, 兰州 730000
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许佳, 徐家云, 马小军, 宋佳玲, 黎刚, 张敏超, 王力. 用α能损法测量薄膜厚度所需真空度的确定方法[J]. 强激光与粒子束, 2016, 28(8): 28084002. Xu Jia, Xu Jiayun, Ma Xiaojun, Song Jialing, Li Gang, Zhang Minchao, Wang Li. A method to determine the vacuum degree while measuring the thickness of thin films using energy loss of α-particles[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2016, 28(8): 28084002.

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