光学学报, 2019, 39 (4): 0412013, 网络出版: 2019-05-10  

基于立方体分光棱镜的干涉投影傅里叶变换轮廓术 下载: 1210次

Interferometric Projection Fourier Transform Profilometry Based on Cube Beam Splitting Prism
作者单位
1 北京理工大学光电学院, 北京 100081
2 北京理工大学深圳研究院, 广东 深圳 518057
基本信息
DOI: 10.3788/AOS201939.0412013
中图分类号: TN247
栏目: 仪器,测量与计量
项目基金: 深圳市科技创新基金(JCYJ20170817114512319,JCYJ20170817114558026)、
收稿日期: 2018-11-07
修改稿日期: 2018-12-03
网络出版日期: 2019-05-10
通讯作者:
备注: --

李小燕, 文永富, 程灏波, 吴恒宇, 王华英. 基于立方体分光棱镜的干涉投影傅里叶变换轮廓术[J]. 光学学报, 2019, 39(4): 0412013. Xiaoyan Li, Yongfu Wen, Haobo Cheng, Hengyu Wu, Huaying Wang. Interferometric Projection Fourier Transform Profilometry Based on Cube Beam Splitting Prism[J]. Acta Optica Sinica, 2019, 39(4): 0412013.

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