光学学报, 2019, 39 (4): 0412013, 网络出版: 2019-05-10
基于立方体分光棱镜的干涉投影傅里叶变换轮廓术 下载: 1210次
Interferometric Projection Fourier Transform Profilometry Based on Cube Beam Splitting Prism
基本信息
DOI: | 10.3788/AOS201939.0412013 |
中图分类号: | TN247 |
栏目: | 仪器,测量与计量 |
项目基金: | 深圳市科技创新基金(JCYJ20170817114512319,JCYJ20170817114558026)、 |
收稿日期: | 2018-11-07 |
修改稿日期: | 2018-12-03 |
网络出版日期: | 2019-05-10 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
李小燕, 文永富, 程灏波, 吴恒宇, 王华英. 基于立方体分光棱镜的干涉投影傅里叶变换轮廓术[J]. 光学学报, 2019, 39(4): 0412013. Xiaoyan Li, Yongfu Wen, Haobo Cheng, Hengyu Wu, Huaying Wang. Interferometric Projection Fourier Transform Profilometry Based on Cube Beam Splitting Prism[J]. Acta Optica Sinica, 2019, 39(4): 0412013.