基于立方体分光棱镜的干涉投影傅里叶变换轮廓术下载： 1210次 | 光学学报 -- 中国光学期刊网

光学学报, 2019, 39 (4): 0412013, 网络出版: 2019-05-10

基于立方体分光棱镜的干涉投影傅里叶变换轮廓术下载： 1210次

Interferometric Projection Fourier Transform Profilometry Based on Cube Beam Splitting Prism

李小燕 ¹文永富 ^1,2,*程灏波 ^1,2,*吴恒宇 ¹王华英 ²

作者单位

¹ 北京理工大学光电学院, 北京 100081

² 北京理工大学深圳研究院, 广东深圳 518057

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