光谱学与光谱分析, 2018, 38 (4): 1007, 网络出版: 2018-06-12
射频容性耦合等离子体放电特性的光谱诊断
Spectroscopic Diagnostics on Discharge Characteristics of RF Capacitive Coupled Plasma
基本信息
| DOI: | 10.3964/j.issn.1000-0593(2018)04-1007-07 |
| 中图分类号: | O433.4 |
| 栏目: | |
| 项目基金: | 国家自然科学基金项目(51107033, 61378037), 中央高校基本科研业务费专项基金项目(2013B33614)资助 |
| 收稿日期: | 2016-12-06 |
| 修改稿日期: | 2017-05-20 |
| 网络出版日期: | 2018-06-12 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
刘冲, 何湘, 张亚春, 陈建平, 陈玉东, 曾小军, 陈秉岩, 朱卫华. 射频容性耦合等离子体放电特性的光谱诊断[J]. 光谱学与光谱分析, 2018, 38(4): 1007. LIU Chong, HE Xiang, ZHANG Ya-chun, CHEN Jian-ping, CHEN Yu-dong, ZENG Xiao-jun, CHEN Bing-yan, ZHU Wei-hua. Spectroscopic Diagnostics on Discharge Characteristics of RF Capacitive Coupled Plasma[J]. Spectroscopy and Spectral Analysis, 2018, 38(4): 1007.
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