射频容性耦合等离子体放电特性的光谱诊断 | 光谱学与光谱分析 -- 中国光学期刊网

光谱学与光谱分析, 2018, 38 (4): 1007, 网络出版: 2018-06-12

射频容性耦合等离子体放电特性的光谱诊断

Spectroscopic Diagnostics on Discharge Characteristics of RF Capacitive Coupled Plasma

刘冲 ¹何湘 ¹张亚春 ²陈建平 ³陈玉东 ³曾小军 ³陈秉岩 ¹朱卫华 ¹

作者单位

¹ 河海大学理学院, 江苏南京 210098

² 南京理工大学理学院, 江苏南京 210094

³ 北京航空工程技术研究中心, 北京 100076

容性耦合等离子体 COMSOL仿真模拟光谱法诊断 Capacitive coupled plasma COMSOL simulation Spectrum diagnosis

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