中国激光, 2019, 46 (10): 1003001, 网络出版: 2019-10-25
脉冲激光沉积法制备低阻掺镓氧化锌薄膜及其光电性能 下载: 1327次
Preparation of Low-Resistivity GZO Thin Films Using Pulsed Laser Deposition and Investigation of Optoelectronic Properties
基本信息
DOI: | 10.3788/CJL201946.1003001 |
中图分类号: | O484 |
栏目: | 材料与薄膜 |
项目基金: | 国家自然科学基金、广西科技开发项目基金、南宁市科技开发项目基金(20151268) |
收稿日期: | 2019-04-15 |
修改稿日期: | 2019-05-23 |
网络出版日期: | 2019-10-25 |
通讯作者: | 沈晓明 (docsjh@ gxu.edu.cn) |
备注: | -- |
莫观孔, 刘家辉, 邹卓良, 唐子媚, 刘宇伦, 何欢, 符跃春, 沈晓明. 脉冲激光沉积法制备低阻掺镓氧化锌薄膜及其光电性能[J]. 中国激光, 2019, 46(10): 1003001. Guankong Mo, Jiahui Liu, Zhuoliang Zou, Zimei Tang, Yulun Liu, Huan He, Yuechun Fu, Xiaoming Shen. Preparation of Low-Resistivity GZO Thin Films Using Pulsed Laser Deposition and Investigation of Optoelectronic Properties[J]. Chinese Journal of Lasers, 2019, 46(10): 1003001.