中国激光, 2019, 46 (10): 1003001, 网络出版: 2019-10-25   

脉冲激光沉积法制备低阻掺镓氧化锌薄膜及其光电性能 下载: 1327次

Preparation of Low-Resistivity GZO Thin Films Using Pulsed Laser Deposition and Investigation of Optoelectronic Properties
作者单位
广西大学资源环境与材料学院, 广西有色金属及特色材料加工重点实验室, 广西 南宁 530004
基本信息
DOI: 10.3788/CJL201946.1003001
中图分类号: O484
栏目: 材料与薄膜
项目基金: 国家自然科学基金、广西科技开发项目基金、南宁市科技开发项目基金(20151268)
收稿日期: 2019-04-15
修改稿日期: 2019-05-23
网络出版日期: 2019-10-25
通讯作者: 沈晓明 (docsjh@ gxu.edu.cn)
备注: --

莫观孔, 刘家辉, 邹卓良, 唐子媚, 刘宇伦, 何欢, 符跃春, 沈晓明. 脉冲激光沉积法制备低阻掺镓氧化锌薄膜及其光电性能[J]. 中国激光, 2019, 46(10): 1003001. Guankong Mo, Jiahui Liu, Zhuoliang Zou, Zimei Tang, Yulun Liu, Huan He, Yuechun Fu, Xiaoming Shen. Preparation of Low-Resistivity GZO Thin Films Using Pulsed Laser Deposition and Investigation of Optoelectronic Properties[J]. Chinese Journal of Lasers, 2019, 46(10): 1003001.

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