强激光与粒子束, 2017, 29 (10): 104103, 网络出版: 2017-10-30
微剪切应力传感器的加工工艺
Fabrication process of micro shear stress sensors
基本信息
| DOI: | 10.11884/hplpb201729.170128 |
| 中图分类号: | TP212 |
| 栏目: | 微纳技术 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金项目(61574131)；西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目(14ZXTK01)；西南科技大学研究生创新基金项目(16YCX103) |
| 收稿日期: | 2017-04-19 |
| 修改稿日期: | 2017-06-13 |
| 网络出版日期: | 2017-10-30 |
| 通讯作者: | 袁明权 (mq_yuan@163.com) |
| 备注: | -- |
袁明权, 雷强, 王雄. 微剪切应力传感器的加工工艺[J]. 强激光与粒子束, 2017, 29(10): 104103. Yuan Mingquan, Lei Qiang, Wang Xiong. Fabrication process of micro shear stress sensors[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2017, 29(10): 104103.
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