低温磁控溅射制备CdS薄膜的结构和光学特性

朱燕艳; 徐闰; 方泽波

doi:doi:10.3724/sp.j.1010.2014.00040

红外与毫米波学报, 2014, 33 (1): 40, 网络出版: 2014-03-14

低温磁控溅射制备CdS薄膜的结构和光学特性

Structural and optical properties of CdS thin films prepared by RF sputtering

朱燕艳 ^1,*徐闰 ²方泽波 ³

作者单位

¹ 上海电力学院数理学院,上海200090

² 上海大学材料系，上海200072

³ 绍兴文理学院物理系,浙江绍兴312000

图 & 表

朱燕艳, 徐闰, 方泽波. 低温磁控溅射制备CdS薄膜的结构和光学特性[J]. 红外与毫米波学报, 2014, 33(1): 40. ZHU Yan-Yan, XU Run, FANF Ze-Bo. Structural and optical properties of CdS thin films prepared by RF sputtering[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2014, 33(1): 40.