中国激光, 2018, 45 (8): 0804008, 网络出版: 2018-08-11
光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 
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Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer
图 & 表
图 2. 被测镜头在不同角度位置处的干涉图。(a) 0°;(b) 45°;(c) 90°;(d) 180°
Fig. 2. Interferogram acquired when tested lens is at different angular positions. (a) 0°; (b) 45°; (c) 90°; (d) 180°
图 3. 被测镜头在不同角度位置处的系统波像差图。(a) 0°;(b) 45°;(c) 90°;(d) 180°
Fig. 3. Wavefront aberrations of tested lens at different angular positions. (a) 0°; (b) 45°; (c) 90°; (d) 180°
图 4. 45°单次旋转法消系统误差后不同角度位置处的系统波像差图[9]。(a) 0°;(b) 45°;(c) 90°;(d) 180°
Fig. 4. Wavefront aberrations at different angular positions after systemic errors are removed by 45° single-rotation algorithm[9]. (a) 0°; (b) 45°; (c) 90°; (d) 180°
图 5. 误差分离法消系统误差后不同角度位置处的系统波像差图[12]。(a) 0°;(b) 45°;(c) 90°;(d) 180°
Fig. 5. Wavefront aberrations at different angular positions after systemic errors are removed by error separation algorithm [12]. (a) 0°; (b) 45°; (c) 90°; (d) 180°
表 1消系统误差前后系统波像差的PV和RMS值
Table1. PV and RMS values of wavefront aberrations before and after systemic errors are removed
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张璐, 向阳. 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法[J]. 中国激光, 2018, 45(8): 0804008. Zhang Lu, Xiang Yang. Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer[J]. Chinese Journal of Lasers, 2018, 45(8): 0804008.
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