光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 | 中国激光 -- 中国光学期刊网

中国激光, 2018, 45 (8): 0804008, 网络出版: 2018-08-11

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Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer

张璐 ^1,2向阳 ¹

作者单位

¹ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春 130033

² 中国科学院大学，北京 100049

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