光频扫描干涉绝对测距漂移误差与补偿方法研究

张雅雅; 郭寅; 任永杰; 尚岳; 刘洋; 邾继贵

doi:doi:10.3788/AOS201737.1212001

光学学报, 2017, 37 (12): 1212001, 网络出版: 2018-09-06

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Study of Drift Error and Its Compensation Method in Absolute Distance Measurement by Optical Frequency Scanning Interferometry

张雅雅郭寅 ^*任永杰尚岳刘洋邾继贵

作者单位

天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072

补充材料

张雅雅, 郭寅, 任永杰, 尚岳, 刘洋, 邾继贵. 光频扫描干涉绝对测距漂移误差与补偿方法研究[J]. 光学学报, 2017, 37(12): 1212001. Yaya Zhang, Yin Guo, Yongjie Ren, Yue Shang, Yang Liu, Jigui Zhu. Study of Drift Error and Its Compensation Method in Absolute Distance Measurement by Optical Frequency Scanning Interferometry[J]. Acta Optica Sinica, 2017, 37(12): 1212001.