光学学报, 2017, 37 (12): 1212001, 网络出版: 2018-09-06   

光频扫描干涉绝对测距漂移误差与补偿方法研究 下载: 896次

Study of Drift Error and Its Compensation Method in Absolute Distance Measurement by Optical Frequency Scanning Interferometry
作者单位
天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072
图 & 表

图 1. OFSI测距原理图

Fig. 1. Schematic of OFSI distance measurement principle

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图 2. 参考光与测量光的光频随时间的变化曲线

Fig. 2. Variation curve of optical frequency of reference and measurement beam versus time

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图 3. 光频三角波扫描曲线

Fig. 3. Scanning curve of optical frequency triangular wave

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图 4. 干涉信号的频谱图

Fig. 4. Spectrogram of interference signal

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图 5. OFSI绝对测距实验原理图

Fig. 5. Schematic of OFSI absolute distance measurement experiment principle

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图 6. 被测目标位于3615.47 mm处的10次重复测量结果

Fig. 6. 10 times measurement result of the measured target at the distance of 3615.47 mm

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图 7. 间隔50 mm各测量点处的测量标准差

Fig. 7. Standard deviation of measurement at different measurement positions with distance of 50 mm

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图 8. (a)补偿前与(b)补偿后系统的残余误差

Fig. 8. Residual error of the system (a) before and (b) after compensation

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张雅雅, 郭寅, 任永杰, 尚岳, 刘洋, 邾继贵. 光频扫描干涉绝对测距漂移误差与补偿方法研究[J]. 光学学报, 2017, 37(12): 1212001. Yaya Zhang, Yin Guo, Yongjie Ren, Yue Shang, Yang Liu, Jigui Zhu. Study of Drift Error and Its Compensation Method in Absolute Distance Measurement by Optical Frequency Scanning Interferometry[J]. Acta Optica Sinica, 2017, 37(12): 1212001.

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