子孔径拼接干涉检测凸非球面的研究

王孝坤; 郑立功; 张学军

doi:doi:10.3788/aos20103007.2022

光学学报, 2010, 30 (7): 2022, 网络出版: 2010-07-13

子孔径拼接干涉检测凸非球面的研究

Testing Convex Aspheres by Subaperture Stitching Interferometry

王孝坤 ^*郑立功张学军

作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春 130033

图 & 表

王孝坤, 郑立功, 张学军. 子孔径拼接干涉检测凸非球面的研究[J]. 光学学报, 2010, 30(7): 2022. Wang Xiaokun, Zheng Ligong, Zhang Xuejun. Testing Convex Aspheres by Subaperture Stitching Interferometry[J]. Acta Optica Sinica, 2010, 30(7): 2022.