氮化物宽禁带半导体的MOCVD大失配异质外延

沈波; 杨学林; 许福军

人工晶体学报, 2020, 49 (11): 1953, 网络出版: 2021-01-26

氮化物宽禁带半导体的MOCVD大失配异质外延

Large LatticeMismatched Heteroepitaxial Growth of Nitride Wide Bandgap Semiconductors by MOCVD

沈波 ^1,2,3,4,5杨学林 ^1,2,3许福军 ^1,2,3

作者单位

¹ 北京大学宽禁带半导体研究中心，北京 100871

² 北京大学人工微结构和介观物理国家重点实验室，北京 100871

³ 北京大学物理学院，北京 100871

⁴ 量子物质科学协同创新中心，北京 100871

⁵ 教育部纳光电子前沿科学中心，北京 100871

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沈波, 杨学林, 许福军. 氮化物宽禁带半导体的MOCVD大失配异质外延[J]. 人工晶体学报, 2020, 49(11): 1953. SHEN Bo, YANG Xuelin, XU Fujun. Large LatticeMismatched Heteroepitaxial Growth of Nitride Wide Bandgap Semiconductors by MOCVD[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2020, 49(11): 1953.

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