扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析

王玮; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 潘明忠

doi:doi:10.3788/cjl201643.1205001

中国激光, 2016, 43 (12): 1205001, 网络出版: 2016-12-09

扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析

Beam Alignment and Convergence Analysis of Scanning Beam Interference Lithography Systems

王玮 ^1,2,*巴音贺希格 ¹宋莹 ¹姜珊 ¹潘明忠 ¹

作者单位

¹ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所国家光栅制造与应用工程技术研究中心, 吉林长春 130033

² 中国科学院大学大珩学院, 北京 100049

图 & 表

王玮, 巴音贺希格, 宋莹, 姜珊, 潘明忠. 扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析[J]. 中国激光, 2016, 43(12): 1205001. Wang Wei, Bayanheshig, Song Ying, Jiang Shan, Pan Mingzhong. Beam Alignment and Convergence Analysis of Scanning Beam Interference Lithography Systems[J]. Chinese Journal of Lasers, 2016, 43(12): 1205001.