光学学报, 2020, 40 (11): 1112002, 网络出版: 2020-06-10   

多角度偏振成像仪面阵探测器筛选及测试方法 下载: 1546次

Screening and Testing Method of Area Detectors for Directional Polarimetric Camera
姚萍萍 1,2许孙龙 1,2涂碧海 1,2,**崔珊珊 1,2金洁 1,2骆冬根 1,2,*洪津 1,2,***
作者单位
1 中国科学院安徽光学精密机械研究所, 安徽 合肥 230031
2 中国科学院通用光学定标与表征技术重点实验室, 安徽 合肥 230031
摘要
为了从科学级面阵探测器中筛选出满足空间应用要求的具有高可靠性和稳定性的器件,针对星载面阵电荷耦合器件(CCD),开展了温度循环、随机振动及高温老炼等环境应力试验。设计了一套筛选专用的面阵CCD图像采集系统,并基于分段式均匀照明光源和连续可调谐均匀单色照明光源,对筛选前后面阵CCD的光电性能参数进行测试。通过对比筛选试验前后面阵CCD的暗电流、像元响应非一致性、量子效率及非线性误差等参数,分析面阵CCD的环境适应性,剔除早期失效或性能变化较大的探测器,从中筛选出性能最优的探测器,并将其应用于星载多角度偏振成像仪以进行大气遥感观测。试验结果表明,最终优选的探测器在筛选试验前后的量子效率最大变化为-2.56%,像元响应不一致性均小于3%,非线性误差均小于1%,筛选后暗电流为889.22 electron·(pixel·s -1) -1。研究结果为低等级面阵CCD筛选方法及CCD性能评估技术提供了重要参考。
Abstract
To screen the high reliability and stability devices from the scientific grade area detectors for the aerospace application, the environmental stress screening tests such as temperature cycling, random vibration, and burn-in are performed on the space-borne area charge coupled device (CCD). A system for area CCD image acquisition is designed, and the electro-optical parameters of a CCD are tested before and after screening based on the segmented illumination light source and the continuous tunable monochromatic light source. The differences of dark currents, photo response non-uniformity, quantum efficiencies, linearity errors, and other parameters of the area CCD before and after the environmental reliability tests are compared, the environmental adaptability of the area CCD is analyzed, and thus the quality defects and the early failures are eliminated. Subsequently, the detectors with an optimal performance are extracted from the participating area CCD and used in the space-borne directional polarimetric camera for atmospheric remote sensing observation. The experimental results show that the maximum change of quantum efficiency between pre- and post-screening for the ultimate optimal detector is -2.56%, the photo response non-uniformity is smaller than 3%, the linearity error is smaller than 1%, and the dark current is 889.22 electron·(pixel·s -1) -1 after screening. These research results provide significant reference data for the standardization establishment of low-level CCD screening methods and performance assessment techniques in aerospace field.

1 引言

星载多角度偏振成像仪(DPC)是一种超广角、画幅式、低畸变成像的偏振传感器[1],其主要任务与功能是获取多角度多光谱偏振辐射数据,并结合基于偏振信息的大气特性反演模型,提供全球大气气溶胶和云的光学及物理参数遥感数据,同时为卫星其他载荷提供大气校正数据[2-3]

星载偏振相机一般采用体积小、质量轻、功耗低、分辨率高、光谱响应宽、动态范围大以及机械强度高的面阵CCD作为其对地观测的图像传感器[4-5]。由于宇航级光电转换器件的进货渠道受到越来越严格的限制[6],因此在无法采购到合适的探测器时,根据载荷任务研制要求,针对低等级面阵CCD开展鉴定试验,揭示面阵CCD的质量缺陷及其他潜在缺陷[7-8],并剔除早期失效的CCD,确保低等级器件在高可靠性领域满足空间应用要求[9]。国内外对CCD相机的性能参数测试方法作了大量的研究,但关于面阵CCD的筛选研究鲜有报道。在国外, 欧洲南部天文台开发了ESO CCD Test bench 摄像机测试系统,美国劳伦斯伯克利国家实验室研制了针对科学级CCD的量子效率测量设备,美国萨诺夫公司开发了一套全面评估CCD/CMOS 相机参数的测试系统[10-12]。在国内,李宪圣等[13]针对大视场空间相机拼接要求,提出筛选出饱和辐照度一致性最好的CCD筛选方法,但其适用范围有限。余达等[14]提出了面阵CCD板级筛选测试方法,通过测试CCD相机指标来间接评估CCD 的性能。金伟等[15]为了筛选出性能最优的探测器,针对空间外差光谱仪,对近红外波段备选面阵探测器开展了暗电流响应、盲元率、像元响应非一致性以及特定入射光能量下的响应度等指标测试。朱双双等[16]从大量低等级双元InGaAs红外探测器中筛选出满足航天高可靠性要求的探测器。

本文DPC选用的是帧转移型面阵CCD探测器,其具有低噪声、高灵敏度、大动态范围和高量子效率等优良性能,质量等级为科学级。对面阵CCD依次进行温度循环、随机振动、高温老炼等环境应力筛选试验考核,并通过对比筛选试验前后的暗电流、缺陷像元、像元响应非一致性及量子效率等参数,分析面阵CCD的环境适应性,并从参试面阵CCD中筛选出性能优良的探测器,确保优选后的面阵CCD具有高可靠性和稳定性,以提高DPC获取的多角度、多光谱偏振信息的质量。由于光电传感器较为特殊,在美军标、欧洲航天局及国内相关集成电路质量等级中,没有针对低等级面阵CCD的规范和标准,本文的研究工作可为应用于航天领域的低等级面阵CCD的筛选方法及CCD性能评估技术提供重要参考。

2 偏振成像仪探测器的图像采集系统设计

多角度偏振成像仪采用超广角光学系统并结合面阵CCD,在卫星沿轨飞行过程中实现多次成像,获得同一谱段的多角度信息,其成像示意图如图1所示。装有偏振片和滤光片的转轮匀速转动,DPC通过转轮切换的方式,基于分时成像实现偏振及多光谱谱段的调谐,并在偏振探测通道的成像光路中引入光楔来实现像移补偿,保证卫星飞行时同一波段的三幅偏振图像来自同一目标。仪器共有15个通道,其中9个为偏振通道(490,670,865 nm三个波段,每个波段具有0°、60°,120°三个偏振解析角度),5个为非偏测量通道(443,565,763,765,910 nm五个波段 ), 1个是采集暗电流的暗电流通道。CCD 传感器沿飞行方向进行连续拍摄成像时,在目标上方某一角度下,通过滤光片及偏振片的转动来获取14个通道的辐射测量信号及1个通道的暗电流测量信号[17-18]

图 1. DPC成像系统示意图

Fig. 1. Structural diagram of DPC imaging system

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为了获得高质量的图像信号输出[19],设计了一套筛选专用的面阵CCD图像采集系统,如图2所示,其以可编程逻辑器件(FPGA)为数字图像处理器,包含水平/垂直时序驱动单元、模拟前端处理单元、CCD偏置电压产生单元、图像数据传输单元、内部通信接口及内部遥测信号产生单元。DPC选用的面阵CCD探测器的管脚较软,多次插拔后容易变形,影响器件管脚的力学性能,故采用无应力插座来连接面阵CCD与图像采集系统。该插座具有耐高温、高可靠性、无应力等特点,完全满足环境应力筛选试验要求。

图像采集系统以美国国家仪器公司(NI)的工控机为总控制器,通过串口通讯(RS422 接口)向FPGA发送积分时间修改、模拟前端增益、偏置修改及成像周期修改等工作参数;时序驱动单元将FPGA产生的帧转移时钟、垂直转移时钟、行转移时钟以及复位等逻辑时序信号转换成符合CCD工作幅值和上升沿时间要求的驱动时钟;偏置电压单元产生适用于CCD的各路偏置电压;面阵CCD输出的图像模拟信号经预放器后被送入模拟前端芯片进行信号调理与转化,之后将其送进FPGA内部,按照科学数据包格式进行组织打包,并通过低压差分信号(LVDS)数据总线将打包后的图像数据传送至NI工控机内的PXIe图像采集卡进行图像实时存储与显示。

图 2. 面阵CCD的图像采集系统框图

Fig. 2. Schematic of area CCD image acquisition system

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3 面阵CCD的环境应力筛选试验

DPC项目采购的面阵CCD在出厂时已进行常规的可靠性测试,为了保证所选用的探测器满足严酷的航天环境要求,对该CCD进行环境适应性分析,从而实现二次深筛和性能优选,从中筛选出性能最优的探测器。

面阵CCD的环境应力筛选试验具体流程如图3所示。对探测器依次进行温度循环、随机振动、高温老炼等环境应力筛选试验考核,筛选前后在相同的温度、湿度等外部环境下对面阵CCD均进行暗电流、缺陷像元、像元响应不一致性、非线性误差及量子效率等光电性能参数(EO)测试,只有通过全部测试的探测器才被判定为合格的探测器。

图 3. 面阵CCD的环境应力筛选试验流程

Fig. 3. Flow chart of environmental stress screening test for area CCD

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3.1 温度循环

面阵CCD的温度循环试验是在高低温箱内完成的。通过导热垫将探测器安装在温度循环试验专用工装上,对工装进行密封抽真空后将其放置在高低温箱内的基板上。在探测器周围贴装PT1000热敏电阻用于监测其温度变化。温度循环试验温度为-40~75 ℃;高温端保持1 h;低温保持留1 h;高温允许误差为±2 ℃,低温允许误差为±3 ℃;温变速率为3~5 ℃·min-1;试验次数为18.5。首次循环从高温开始;末次循环从低温开始,高温结束;高低温箱在高温端自然回温。在整个试验过程中高低温箱内充氮气,避免试验过程中在探测器表面上产生凝露。探测器安装图如图4所示,温度循环试验现场图如图5所示。试验结束后测试探测器的暗电流和感光功能。

图 4. 温度循环中探测器的安装图

Fig. 4. Installation image of CCD for temperature cycling

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3.2 随机振动

为了模拟面阵CCD在多角度偏振成像仪上的实际安装状态,通过改变振动台方向,在电动振动台上开展CCD沿XYZ三个轴向的随机振动试验。工装的振动底板安装在振动测试平台上,工装顶部设有透明观察窗,可在试验过程中观察探测器的振动情况。随机振动试验条件参考国军标GJB1032-90《电子产品环境应力筛选方法》中电子元器件筛选标准,频率f在20 Hz≤f≤80 Hz,80 Hz<f≤350 Hz和350 Hz<f≤2000 Hz范围内的功率谱密度p分别为每倍频程+3 dB、0.04 g2·Hz-1和每倍频程-3 dB,总均方根加速度为6.06g,每个轴向上的试验时间是5 min,其中g为重力加速度。

图 5. 温度循环试验现场图

Fig. 5. Site map for thermal cycling test

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探测器安装坐标系以整星本体坐标系为参考,遵守右手法则,X向指卫星发射方向,即CCD光敏面的垂直方向,Y向指CCD光敏面的平行方向,Z向指与力学试验工装表面垂直方向。随机振动方向如图6所示,其中PIN1是探测器1的脚位置。在试验过程中,面阵CCD不通电,力学试验结束后,通过显微镜观察探测器光敏面是否有裂痕,并测试探测器的暗电流和感光功能。

图 6. 随机振动试验测点布置图。(a) X向;(b) Y向;(c) Z向;(d)探测器坐标系

Fig. 6. Measuring point layout of random vibration. (a) X direction; (b) Y direction; (c) Z direction; (d) detector coordinate

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3.3 高温老练

面阵CCD的高温老练试验在高低温箱内进行,试验过程中CCD需要加电成像,为了降低探测器的使用风险,设计了一种板级筛选测试系统,如图7所示。探测器通过无应力插座与图像采集系统连接,图像采集系统被固定在高低温箱内的基板上,探测器陶瓷背面粘贴PT1000热敏电阻以监测其温度变化,图像采集系统通过穿箱电缆与线性电源和工控机相连,并进行供电、图像数据存储与接收及内部电压监测。高低温箱以不高于5 ℃·min-1的速率将温度从室温升至50 ℃并保持100 h。在整个高温保持过程中,探测器采用驱动偏置设置并始终处于成像状态,实时监测和记录测试系统的工作电压、工作电流,以及试验产品各测温点数据。高温老练过程中每12 h检测一次CCD感光情况,并将其作为工作是否正常的依据。

图 7. 面阵CCD的高温老练测试系统装置

Fig. 7. Equipment of burn-in test of array CCD

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3.4 光电性能测试

面阵CCD的光电性能测试系统基于分段式均匀照明光源,连续可调谐均匀单色照明光源和筛选专用的面阵CCD图像采集系统,系统示意图如图8所示。分段式均匀照明光源用于测量面阵CCD的像元响应不一致性、暗电流及非线性误差,采用积分球内置卤钨灯作为照明光源,选用与DPC载荷同批次的滤光片为分光元件,保证测试照明光谱波段与DPC工作波段一致。光能量监测探测器与待测探测器共面放置,确保筛选前后用于光电性能测试的积分球辐射照度变化小于1%。

图 8. 面阵CCD的光电性能测试系统示意图

Fig. 8. Schematic of electro-optical test system of array CCD

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连续可调谐均匀单色照明光源用于测量待面阵CCD的量子效率[20],采用大功率氙灯作为照明光源,以单色仪作为分光器件,大功率氙灯发出的光经单色仪分光后入射至积分球内,经积分球匀光后出射,被待测探测器接收,探测器在图像采集系统中完成光电转换,输出的图像信号由NI工控机进行实时采集。探测器背面粘贴热敏电阻,通过安捷伦数据采集器监测其工作温度。监视探测器放置于积分球侧壁,用于监测待测探测器接收的相对光谱能量,并将该相对光谱能量作为探测器相对光谱响应测试的能量传递基准。照度计与待测探测器共面放置,通过水平导轨切换光路,并测量探测器接收到的照度值。

图像采集系统通过六自由度自动调整机构进行六个方位的调整。先调整z向,确保待测探测器光敏面中心与积分球光源开口中心对齐;再调整y向,使探测器光敏面与光源出光口平面平行;最后调整x向,确保积分球漫反射光均匀照射在被测探测器上。为了避免周围杂散光的影响,图像采集系统被放置在暗室内,暗室内壁涂有黑色涂层,具有良好的不透光性。

通过对比筛选试验前后的面阵CCD的暗电流,坏点,像元响应不一致性(PRNU),非线性误差和量子效率,研究面阵CCD的光电性能变化。DPC共有8个波段,工作光谱范围为443~910 nm,从短波、中波、长波中各选一个波段(490,670,865 nm)进行像元响应不一致性和非线性误差的测量。量子效率测量扫描的波长范围为400~940 nm,覆盖DPC所有工作谱段,光谱分辨率为3 nm,DPC工作波段内的扫描间隔为3 nm,DPC工作波段外的扫描间隔为10 nm。

筛选试验前后光电性能测试的合格判据如表1所示,其中Va为量子效率的变化量。

表 1. 筛选试验前后面阵CCD光电性能合格要求

Table 1. Criteria of electro-optical tests of array CCD before and after screening

ParameterCriterion
Dark current≤5516 electron·(pixel·s-1)-1 @5.5 ℃
Number of white spots≤50 @5.5 ℃
Number of black spots≤50 @5.5 ℃
PRNU≤3% @490,670,865 nm
Non-linear error≤1% @490,670,865 nm
Quantum efficiencyVa≤±5% before andafter screening when spectral response range is 400-940 nm with resolution of 3 nm

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暗电流指无光照条件下,由内部热生电子所形成的电流,是CCD的主要噪声源之一。暗电流会随着曝光时间的增加而线性增长。在无光照时,通过改变探测器的积分时间,测试对应积分时间下的输出信号,然后以积分时间为横坐标,输出信号为纵坐标,基于测试数据给出散点图,并按最小二乘法,拟合出一条直线,该直线的斜率即为探测器的单位时间暗信号。

CCD的坏点包含亮点和暗点,在无光照条件下,像元暗电流大于该温度下10倍最大暗电流的像元称为亮点(white spot)。在均匀光照条件下,器件呈半饱和输出时,响应低于80%平均响应的像元称为暗点(black spot)。

像元响应不一致性指在均匀光照条件下,器件输出信号呈半饱和时,每个像元之间的响应差异引起的有效像元之间的响应偏差。在特定亮度光照条件下,通过调节积分时间,使器件的输出信号约为饱和输出信号的1/2,此时采集150 frame图像;关闭光源,在相同积分时间下采集150 frame图像,对上述图像分别扣除坏点后再求取平均,然后通过亮场图像减暗场图像来扣除暗电流,以进行帧转移校正。校正后图像有效像元的方差和均值及探测器整个感光面的PRNU计算公式为

μy¯=1M·Nm=0M-1n=0N-1μy,m,nsy2=1M·Nm=0M-1n=0N-1(μy,m,n-μy¯)2PPRNU=sy2μy×100%,(1)

式中:PPRNU为探测器整个感光面的PRNU值;M,N为面阵CCD光敏面像元的行数和列数;μy,m,n为第m行,第n列像元的响应值; sy2为校正后图像有效像元的方差; μy¯为校正后图像有效像元的均值。

非线性误差(LE)指在均匀光照条件下,当曝光量变化时,CCD输出信号和理想输出信号之间的偏差。探测器光响应输出信号是曝光量和曝光时间的线性函数,在一定的辐照强度下,通过调节积分时间来改变入射曝光量,从而测量探测器的响应非线性。以积分时间为横坐标,光响应输出信号为纵坐标,基于测试数据给出散点图,采用最小二乘法对所得数据进行线性回归运算,每个积分时间下的相对偏差δy,i和总的非线性误差ELE

δy,i=μy,i-(kt+b)μyimax-μyimin×100%ELE=max(δy)-min(δy)2,(2)

式中:t为积分时间;kb分别为线性回归直线的斜率、截距;μy,i分别为积分时间i下的光响应均值;imax为最大测量积分时间;imin为最小测量积分时间;μyimax为最大积分时间下的光响应均值;μyimin为最小积分时间下的光响应均值。

量子效率是在规定波长光照下,入射光子在器件像元中产生并被收集的电子数与入射光子数的比值[21-22],它表征了面阵CCD对不同波长入射光的敏感程度,通常用η表示。量子效率的公式为

η(λ)=μy-μy,darkK·μp(λ),(3)

式中:μy为有光照情况下探测器有效像元的平均灰度值;μy,dark为无光照情况下探测器有效像元的平均灰度值;K为图像采集系统的增益,单位为DN·electron-1;h为普朗克常数,大小为6.6261×10-34 J·s;c为光在真空中的传播速度,大小为3×108 m/s;λ为入射光波长,单位为nm;A为单像元面积,单位为m2;J为探测器光敏面接收到的绝对辐照度,单位为W·m-2;Texp为曝光时间,单位为s;μp(λ)为在曝光时间Texp内,λ波长的光入射到面积为A的像元上的平均光子数,表达式为 μp(λ)=J·A·Texphc/λ

4 试验结果与分析

采用上述环境应力筛选试验装置和光电性能测试方法,对DPC项目采购的五片面阵CCD分两批进行温度循环、随机振动和高温老练试验考核,并在筛选前后进行光电性能测试,其中环境试验前后CCD的量子效率允许变化范围为±5%,即CCD的量子效率变化范围超过±5%时,则认为该探测器失效。试验结果表明,五片CCD均通过全部测试,被判定为筛选合格的探测器。考虑DPC载荷实际在轨工作温度为0~8 ℃,探测器所有光电性能参数均是在5.5 ℃工作温度下测试的。其中一个探测器的光电性能参数如表2所示。暗电流筛选前为1041.38 electron·(pixel·s-1)-1,筛选后为889.22 electron·(pixel·s-1)-1,筛选试验前后均小于5516 electron·(pixel·s-1)-1,探测器没有坏点。像元响应不一致性筛选试验前后为2.1%~2.5%,均小于3%。非线性误差LE筛选试验前后为0.1%~0.6%,均小于1%。筛选前后量子效率曲线如图9所示,QE最大变化量为-2.5%,说明经过环境试验考核后,面阵CCD具有较好的稳定性和可靠性,满足航天产品应用要求。

图 9. 筛选前后的量子效率曲线变化图

Fig. 9. QE before and after screening

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表3为五片备选探测器的性能优选结果,五片CCD的像元响应不一致性和非线性误差比较接近。由于探测器暗电流对DPC辐射定标精度及动态范围的影响显著,首先剔除暗电流超过1000 electron·(pixel·s-1)-1的器件,然后依据筛选前后量子效率变化越小越好的原则,在剩余备选探测器中挑出量子效率变化量最小的器件,即以序列号55探测器作为最终应用于多角度偏振成像仪上的探测器。

表 2. CCD探测器筛选前后的光电性能参数

Table 2. Photoelectric performance parameters of CCD detector before and after screening

ParameterWavelength /nmBefore screeningAfter screeningDelta valuePass or Fail
Dark current1041.38 /[ electron·(pixel·s-1)-1]889.22 /[ electron·(pixel·s-1)-1]-Pass
Number of white spots andblack spots00-Pass
4902.35%2.23%-Pass
PRNU6702.13%2.12%-Pass
8652.51%2.34%-Pass
4900.58%0.28%-Pass
Linearity error6700.35%0.24%-Pass
8650.43%0.12%-Pass
40057.3%55.87%-2.56%Pass
44377.98%78.03%0.06%Pass
49089.32%89.58%0.29%Pass
50090.7%90.99%0.32%Pass
QE56694.04%94.5%0.49%Pass
67087.69%88.5%0.92%Pass
76467.81%67.91%0.15%Pass
86539.08%39.25%0.43%Pass
90028.6%28.51%-0.32%Pass
91025.94%25.82%-0.46%Pass

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表 3. 探测器性能优选结果

Table 3. Performance optimization results of detectors

Serial No.Dark current /[electron·(pixel·s-1)-1]Max PRNU /%Max linearityerror /%Max delta valueof QE /%
11983.872.620.303.34
331147.062.550.69-4.15
55889.222.340.28-2.56
771163.22.330.293.54
991498.22.750.543.81

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5 结论

为了从科学级面阵探测器中筛选出满足空间应用要求并具有高可靠性和高稳定性的器件,提出了一种面阵CCD筛选测试方法,结合其应用特点设计了一套专用的图像采集系统,通过评估筛选前后CCD裸片的光电参数变化,对器件的性能进行判定。对星载多角度偏振成像仪选用的CCD实施了温度循环、随机振动和高温老练等环境应力考核,通过对比分析多片面阵CCD筛选试验前后的暗电流、非线性误差、像元响应非一致性及量子效率等参数,筛选出性能最优的探测器。试验结果表明,DPC项目采购的五片面阵CCD全部通过筛选试验考核,筛选出综合性能最优的探测器,筛选试验前后量子效率的最大变化量为-2.56%,筛选后5.5 ℃工作温度下的暗电流为889.22 electron·(pixel·s-1)-1,最大像元响应不一致性为2.34%,最大非线性误差为0.28%,且没有坏像元,说明经过环境试验考核后的面阵CCD具有较好的稳定性与可靠性,满足航天产品应用要求。

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