红外与毫米波学报, 2010, 29 (4): 259, 网络出版: 2010-08-31  

三层材料微悬臂梁模型及其在红外焦平面像元设计中的应用

TRI-LAYER MICROCANTILEVER MODEL AND ITS APPLICATION IN IRFPA PIXEL DESIGN
作者单位
1 中国科学院微电子研究所, 北京 100029
2 中国传媒大学光电学系, 北京 100024
基本信息
DOI: --
中图分类号: TN362;TB333
栏目:
项目基金: 国家自然科学基金 (60576053);国家高科技研究发展计划资助项目(2007AA3Z333)
收稿日期: 2009-10-15
修改稿日期: 2010-01-30
网络出版日期: 2010-08-31
通讯作者:
备注: --

张霞, 焦彬彬, 陈大鹏, 叶甜春. 三层材料微悬臂梁模型及其在红外焦平面像元设计中的应用[J]. 红外与毫米波学报, 2010, 29(4): 259. ZHANG Xia, JIAO Bin-Bin, CHEN Da-Peng, YE Tian-Chun. TRI-LAYER MICROCANTILEVER MODEL AND ITS APPLICATION IN IRFPA PIXEL DESIGN[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2010, 29(4): 259.

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