三层材料微悬臂梁模型及其在红外焦平面像元设计中的应用

张霞; 焦彬彬; 陈大鹏; 叶甜春

红外与毫米波学报, 2010, 29 (4): 259, 网络出版: 2010-08-31

三层材料微悬臂梁模型及其在红外焦平面像元设计中的应用

TRI-LAYER MICROCANTILEVER MODEL AND ITS APPLICATION IN IRFPA PIXEL DESIGN

张霞 ^1,2焦彬彬 ¹陈大鹏 ¹叶甜春 ¹

作者单位

¹ 中国科学院微电子研究所，北京 100029

² 中国传媒大学光电学系，北京 100024

图 & 表

张霞, 焦彬彬, 陈大鹏, 叶甜春. 三层材料微悬臂梁模型及其在红外焦平面像元设计中的应用[J]. 红外与毫米波学报, 2010, 29(4): 259. ZHANG Xia, JIAO Bin-Bin, CHEN Da-Peng, YE Tian-Chun. TRI-LAYER MICROCANTILEVER MODEL AND ITS APPLICATION IN IRFPA PIXEL DESIGN[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2010, 29(4): 259.