红外与毫米波学报, 2010, 29 (4): 259, 网络出版: 2010-08-31  

三层材料微悬臂梁模型及其在红外焦平面像元设计中的应用

TRI-LAYER MICROCANTILEVER MODEL AND ITS APPLICATION IN IRFPA PIXEL DESIGN
作者单位
1 中国科学院微电子研究所, 北京 100029
2 中国传媒大学光电学系, 北京 100024
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