红外与毫米波学报, 2010, 29 (4): 259, 网络出版: 2010-08-31
三层材料微悬臂梁模型及其在红外焦平面像元设计中的应用
TRI-LAYER MICROCANTILEVER MODEL AND ITS APPLICATION IN IRFPA PIXEL DESIGN
微电子机械系统 红外焦平面阵列像元 三层材料梁 粘附层 微悬臂梁模型 micro-electro mechanical systems (MEMS) IRFPA pixel tri-layer material cantilever adhesion layer microcantilever model
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