HF酸腐蚀提高K9基板损伤阈值

曹翀; 张锦龙

doi:doi:10.11884/hplpb201527.061004

强激光与粒子束, 2015, 27 (6): 061004, 网络出版: 2015-06-17

HF酸腐蚀提高K9基板损伤阈值

Improve K9 glass substrate damage threshold by HF etching

曹翀 ^1,2,*张锦龙 ^1,2

作者单位

¹ 同济大学物理科学与工程学院,精密光学工程技术研究所, 上海 200092

² 同济大学先进微结构材料教育部重点实验室, 上海 200092

基本信息

DOI:	10.11884/hplpb201527.061004
中图分类号:	O484
栏目:	高功率激光与光学
项目基金:	国家自然科学基金项目(U1430130)
收稿日期:	2015-01-06
修改稿日期:	2015-03-18
网络出版日期:	2015-06-17
通讯作者:	曹翀 (1989caochong@tongji.edu.cn)
备注:	--

曹翀, 张锦龙. HF酸腐蚀提高K9基板损伤阈值[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27(6): 061004. Cao Chong, Zhang Jinlong. Improve K9 glass substrate damage threshold by HF etching[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27(6): 061004.