HF酸腐蚀提高K9基板损伤阈值 | 强激光与粒子束 -- 中国光学期刊网

强激光与粒子束, 2015, 27 (6): 061004, 网络出版: 2015-06-17

HF酸腐蚀提高K9基板损伤阈值

Improve K9 glass substrate damage threshold by HF etching

曹翀 ^1,2,*张锦龙 ^1,2

作者单位

¹ 同济大学物理科学与工程学院,精密光学工程技术研究所, 上海 200092

² 同济大学先进微结构材料教育部重点实验室, 上海 200092

HF酸腐蚀 K9基板损伤阈值超声波粗糙度 HF acid etching K9 substrate damage threshold ultrasonic roughness

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