1 同济大学 物理科学与工程学院,精密光学工程技术研究所, 上海 200092
2 同济大学 先进微结构材料教育部重点实验室, 上海 200092
针对K9玻璃基板的HF酸化学腐蚀工艺开展研究,标定了40%和2%高低两种体积分数的HF酸的腐蚀速率;分析了基板表面形貌随腐蚀深度的变化规律;研究了腐蚀时间、HF酸体积分数、超声波工艺对激光损伤阈值的影响,提出了能够有效减少损伤敏感的氟硅盐沉淀、提高损伤阈值的优化腐蚀清洗工艺流程.采用优化的腐蚀清洗工艺流程进行了实验验证,结果表明用体积分数为2%的HF酸在高温和超声波条件下腐蚀90 s后,测得1064 nm波长激光作用下K9基板抗激光损伤阈值提高了75%.
HF酸腐蚀 K9基板 损伤阈值 超声波 粗糙度 HF acid etching K9 substrate damage threshold ultrasonic roughness 强激光与粒子束
2015, 27(6): 061004
