发光学报, 2018, 39 (9): 1272, 网络出版: 2018-09-08
磁控溅射制备本征ZnO/Ag/ZnO透明导电薄膜的性质研究
Properties of ZnO/Ag/ZnO Transparent Conducting Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering
基本信息
| DOI: | 10.3788/fgxb20183909.1272 |
| 中图分类号: | O484.4;TM24 |
| 栏目: | 器件制备及器件物理 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(51672119)、 辽宁省教育厅校企成果转化项目(601009817-01)、 辽宁省教育厅海洋装备用金属材料及其应用国家重点实验室-辽宁科技大学联合基金(SKLMEA-USTL-201709)资助项目 |
| 收稿日期: | 2017-12-18 |
| 修改稿日期: | 2018-02-09 |
| 网络出版日期: | 2018-09-08 |
| 通讯作者: | 周艳文 (zhouyanwen@ustl.edu.cn) |
| 备注: | -- |
李彤, 周艳文, 王艳雪, 赵卓, 武俊生, 王晓明, 高鹏. 磁控溅射制备本征ZnO/Ag/ZnO透明导电薄膜的性质研究[J]. 发光学报, 2018, 39(9): 1272. LI Tong, ZHOU Yan-wen, WANG Yan-xue, ZHAO Zhuo, WU Jun-sheng, WANG Xiao-ming, GAO Peng. Properties of ZnO/Ag/ZnO Transparent Conducting Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2018, 39(9): 1272.
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