发光学报, 2018, 39 (9): 1272, 网络出版: 2018-09-08   

磁控溅射制备本征ZnO/Ag/ZnO透明导电薄膜的性质研究

Properties of ZnO/Ag/ZnO Transparent Conducting Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering
作者单位
1 辽宁科技大学 化学工程学院, 辽宁 鞍山 114051
2 辽宁科技大学 表面工程研究所, 辽宁 鞍山 114051
3 鞍钢集团钢铁研究院 海洋装备用金属材料及其应用国家重点实验室, 辽宁 鞍山 114051
图 & 表

李彤, 周艳文, 王艳雪, 赵卓, 武俊生, 王晓明, 高鹏. 磁控溅射制备本征ZnO/Ag/ZnO透明导电薄膜的性质研究[J]. 发光学报, 2018, 39(9): 1272. LI Tong, ZHOU Yan-wen, WANG Yan-xue, ZHAO Zhuo, WU Jun-sheng, WANG Xiao-ming, GAO Peng. Properties of ZnO/Ag/ZnO Transparent Conducting Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2018, 39(9): 1272.

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