强激光与粒子束, 2007, 19 (2): 327, 网络出版: 2007-05-22
化学气相沉积SiC材料超光滑表面纳米加工
Super-smooth surface nanometer fabrication of chemical vapor deposition SiC
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TQ171.65 |
栏目: | 粒子束技术 |
项目基金: | 国家863计划项目资助课题、国家自然科学基金资助课题(10474097) |
收稿日期: | 2006-07-28 |
修改稿日期: | 2007-01-26 |
网络出版日期: | 2007-05-22 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
公发全, 肖鹏, 黄润兰, 李刚, 刘万发, 董闯. 化学气相沉积SiC材料超光滑表面纳米加工[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(2): 327. 公发全, 肖鹏, 黄润兰, 李刚, 刘万发, 董闯. Super-smooth surface nanometer fabrication of chemical vapor deposition SiC[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19(2): 327.