多层薄膜沉积的应力仿真分析下载： 2643次 | 激光与光电子学进展 -- 中国光学期刊网

激光与光电子学进展, 2018, 55 (4): 043101, 网络出版: 2018-09-11

多层薄膜沉积的应力仿真分析下载： 2643次

Stress Simulation Analysis of Multilayer Film Deposition

李长安 ^*杨明冬全本庆关卫林

作者单位

武汉光迅科技股份有限公司, 湖北武汉 430205

薄膜膜应力有限元材料增长 thin films film stress finite element material growth

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