基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统研究 | 量子电子学报 -- 中国光学期刊网

量子电子学报, 2018, 35 (5): 533, 网络出版: 2018-10-07

基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统研究

Temperature control system of excimer laser based on Smith prediction compensation

朱成林 ^1,2,3,*韩晓泉 ^1,2冯泽斌 ^1,2胡明庆 ⁴

作者单位

¹ 中国科学院光电研究院光电工程部, 北京 100094

² 北京市准分子激光工程技术研究中心, 北京 100094

³ 中国科学院大学材料科学与光电技术学院, 北京 100190

⁴ 熊猫电子集团有限公司, 江苏南京 210007

补充材料

朱成林, 韩晓泉, 冯泽斌, 胡明庆. 基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统研究[J]. 量子电子学报, 2018, 35(5): 533. ZHU Chenglin, HAN Xiaoquan, FENG Zebin, HU Mingqing. Temperature control system of excimer laser based on Smith prediction compensation[J]. Chinese Journal of Quantum Electronics, 2018, 35(5): 533.

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