光学 精密工程, 2020, 28 (3): 584, 网络出版: 2020-05-12
基于飞秒激光的可运动微结构加工与旋转驱动
Fabrication and rotation driving of movable microstructures based on femtosecond laser
基本信息
| DOI: | 10.3788/ope.20202803.0584 |
| 中图分类号: | TN249;TM359.5 |
| 栏目: | 微纳技术与精密机械 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(No.51875544, No.91963127, No.51675503, No.51805509)、 统筹推进世界一流大学和一流学科建设专项资金资助(No.YD2090002005)、 中国科学院青年创新促进会资助项目(No.2017495) |
| 收稿日期: | 2019-12-18 |
| 修改稿日期: | 2020-01-15 |
| 网络出版日期: | 2020-05-12 |
| 通讯作者: | 袁宏伟 (sa179061@mail.ustc.edu.cn) |
| 备注: | -- |
袁宏伟, 饶生龙, 吴东, 李家文, 胡衍雷. 基于飞秒激光的可运动微结构加工与旋转驱动[J]. 光学 精密工程, 2020, 28(3): 584. YUAN Hong-wei, RAO Sheng-long, WU Dong, LI Jia-wen, HU Yan-lei. Fabrication and rotation driving of movable microstructures based on femtosecond laser[J]. Optics and Precision Engineering, 2020, 28(3): 584.
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